Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
- ВУЗ:
- Нац. исслед. технол. ун-т
- Краткое описание:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Курочка Александр Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т].- Москва, 2013.- 149 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1284
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб