Лазерное нано/микроструктурирование и сверхлегирование примесями серы поверхности кремния Нгуен Ван Лыонг

Краткое описание

Нгуен Ван Лыонг.
Лазерное нано/микроструктурирование и сверхлегирование примесями серы поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.05 / Нгуен Ван Лыонг; [Место защиты: Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева РАН]. - Москва, 2018. - 126 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Нгуен Ван Лыонг
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1. Общая информация
1.2. Лазерное текстурирование поверхности кремния для увеличения поглощательной способности
1.2.1. Лазерное текстурирование в воздушной среде
1.2.2. Лазерное текстурирование в газовой среде
1.2.3. Лазерное текстурирование в жидкой среде
1.3. Лазерное сверхлегирование
1.3.1. Промежуточная зона в кремнии
1.3.2. Увеличение поглощения излучения видимого и ближнего ИК диапазона посредством лазерного текстурирования и сверхлегирования
1.4. Сверхлегирование посредством ионной имплантации с последующим
импульсным лазерным отжигом
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ, СХЕМЫ И МАТЕРИАЛЫ64 2.1 Лазеры
2.1.1. Фемто/пикосекундная лазерная система
2.1.2. Наносекундная лазерная система
2.2. Экспериментальная лазерная установка
2.2.1. Фемто- и пикосекундная обработка
2.3. Методы исследования
ГЛАВА 3. ТЕКСТУРИРОВАНИЕ И СВЕРХЛЕГИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИМЕСЬЮ СЕРЫ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ФЕМТО- И ПИКОСЕКУНДНЫХ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ
3.1. Текстура поверхности
3.2. Кристаллическая структура поверхности
3.3. Сверхлегирование поверхности
3.4. Оптические свойства
3.5. Механизм образования массивов кремниевых нанолистов
4.1. Текстура поверхности
4.2. Кристаллическая структура поверхности
4.3. Сверхлегирование
4.4. Оптические свойства
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ТЕРМИНОЛОГИЯ И ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
БЛАГОДАРНОСТЬ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ