Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Автоматизированные системы управления и прогрессивные информационные технологии
скачать файл: 
- Название:
- Ломанов Алексей Николаевич. Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении
- Краткое описание:
- Ломанов Алексей Николаевич. Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06.- Рыбинск, 2007.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1858
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб