Магурин, Виталий Геннадьевич. Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Санкт-Петербург
Год защиты:
2000
Краткое описание:
Магурин, Виталий Геннадьевич. Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03.- Санкт-Петербург, 2000.- 189 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-1/1164-9