Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Киев
Год защиты:
1990
Краткое описание:
Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Киев, 1990.- 18 с.: ил.