Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения
- ВУЗ:
- НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
- Краткое описание:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина.- Москва, 1991.- 21 с.: ил. РГБ ОД, 9 91-5/3058-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб