Каталог / ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ / Химия твердого тела
скачать файл: 
- Название:
- Маркеев Андрей Михайлович. Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур
- ВУЗ:
- ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)»
- Краткое описание:
- Маркеев Андрей Михайлович. Атомно-слоевое осаждение металлических и многокомпонентных диэлектрических слоев для микроэлектронных структур;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)»], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб