Механизмы формирования состава и модифицирования поверхности многокомпонентных материалов при облучении кластерными ионами Киреев Дмитрий Сергеевич

Краткое описание

Киреев,ДмитрийСергеевич.Механизмыформированиясоставаимодифицированияповерхностимногокомпонентныхматериаловприоблучениикластернымиионами: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 /КиреевДмитрийСергеевич; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова»]. - Москва, 2021. - 121 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени М.В. ЛОМОНОСОВА ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ На правах рукописиКиреевДмитрийСергеевичМеханизмыформированиясоставаимодифицированияповерхностимногокомпонентныхматериаловприоблучениикластернымиионами01.04.04. физическая электроника ДИССЕРТАЦИЯ на соискание

стр. 2
...........................21 1.3.Формированиерельефаповерхноститвердых тел под действиемоблучениякластернымии атомарнымиионами......................................................................................28 1.3.1.Формированиерельефаповерхностипод действием бомбардировки атомарнымиионами....

стр. 2
тел...............................................................................................................................36 1.4.1 Селективное распыление компонентовприбомбардировкеповерхноститвердых тел атомарнымиионами.........................................................................................................................36 1.4.2 Селективное распыление компонентовприбомбардировкеповерхноститвердых телкластерными...

Оглавление диссертациикандидат наук Киреев Дмитрий Сергеевич
Введение
Глава 1. Обзор литературы
1.1. Формирование пучка газовых кластерных ионов
1.1.1. Кластерные газовые ионы
1.1.2. Основные принципы формирования газовых кластеров
1.2. Взаимодействие кластерных ионов с поверхностью твердого тела
1.3. Формирование рельефа поверхности твердых тел под действием облучения кластерными и атомарными ионами
1.3.1. Формирование рельефа поверхности под действием бомбардировки атомарными ионами
1.3.2. Формирование рельефа поверхности при облучении ускоренными кластерными ионами
1.4. Селективное распыление компонентов при ионной бомбардировке поверхности твердых тел
1.4.1 Селективное распыление компонентов при бомбардировке поверхности твердых тел атомарными ионами
1.4.2 Селективное распыление компонентов при бомбардировке поверхности твердых тел кластерными ионами
Глава 2. Модификация поверхности сплавов при облучении газовыми кластерными ионами
2.1. Постановка задачи
2. 2. Методика эксперимента
2.3. Влияние облучения кластерными и атомарными ионами Аг на состав поверхности сплавов NixPdy
2.3.1. Состав поверхности сплавов NixPdy при наклонном падении пучка
2.3.2. Топография поверхности сплава NiPd при наклонном облучении кластерными ионами
2.4. Состав поверхности сплава NiPd при падении кластерного пучка вдоль нормали к поверхности
2.5. Изменение состава поверхности сплава сплава ММоЯе под действием кластерного облучения
2.6. Механизмы преимущественного распыления сплавов при облучении кластерными ионами
2.7. Влияние концентрации компонентов на эффект селективного распыления сплавов NixPdy
2.8. Выводы по Главе
Глава 3. Сглаживание рельефа поверхности при распылении газовыми кластерными ионами
3.1. Постановка задачи
3.2. Методика эксперимента
3.3. Сглаживание шероховатости поверхности SiC после облучения GCIB
3.4. Выводы по главе
Глава 4. Формирование периодического рельефа поверхности твердых тел под действием ионного кластерного облучения
4.1. Постановка задачи
4.2. Методика эксперимента
4.2.1. Облучение поверхности поликристаллического Си кластерными ионами Аг+воо 10 кэВ при различных температурах мишени и ионных флуенсах
4.2.2. Облучение поверхности поликристаллического Си кластерными ионами Аг+2500 20 кэВ при различных температурах мишени
4.3. Влияние флуенса на формирование рельефа поверхности поликристаллического Си при облучении кластерными ионами Аг
4.4. Влияние температуры мишени на формирование рельефа при ионном облучении
4.4.1. Влияние температуры мишени на формирование рельефа при облучении атомарными ионами
4.4.2. Влияние температуры мишени на формирование рельефа при облучении кластерными ионами
4.4. Выводы по главе
Заключение
Список литературы