Моделирование процессов термического выглаживания и разупорядочения поверхности полупроводников Казанцев, Дмитрий Михайлович

Краткое описание

Казанцев, Дмитрий Михайлович.
Моделирование процессов термического выглаживания и разупорядочения поверхности полупроводников : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Казанцев Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН]. - Новосибирск, 2018. - 112 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Казанцев, Дмитрий Михайлович
Содержание
Список основных сокращений и обозначений
Введение
Глава 1. Обзор литературы
1.1. Методы описания рельефа поверхности кристалла
1.2. Методы получения гладких поверхностей полупроводников
1.3. Теория и модели термического выглаживания поверхности
1.4. Микроскопические параметры массопереноса на поверхности 0аЛв(001)
1.5. Термическое разупорядочение рельефа поверхности
Постановка задачи
Глава 2. Методика
2.1. Методика термического выглаживания поверхности GaAs
2.2. Моделирование рельефа исходной шероховатой поверхности
2.3. Метод моделирования Монте-Карло и параметры модели
Глава 3. Моделирование термического выглаживания поверхности
3.1. Кинетика выглаживания шероховатой поверхности
3.2. Определение параметров модели для поверхности 0аЛБ(001)
3.3. Учет разницы масштабов в моделировании и эксперименте
3.4. Учет массопереноса через газовую фазу
3.5. Сравнение параметров модели выглаживания поверхности 0аЛБ(001) с литературными данными
3.6. Определение отклонения условий отжига ОаЛБ от равновесия
3.7. Уточнение параметров модели
Результаты и выводы к главе 3
Глава 4. Анизотропия рельефа и особенности оствальдовского созревания в процессе формирования ступенчато-террасированной поверхности
4.1. Пространственное разделение островков и озёр на террасах
4.2. Кристаллографическая и вицинальная анизотропия рельефа
4.3. Особенности оствальдовского созревания на ступенчато-террасированной поверхности
Результаты и выводы к главе 4
Глава 5. Разупорядочение рельефа ("огрубление") поверхности
5.1. Экспериментальные результаты по разупорядочению рельефа поверхности 0аЛБ(001)
5.2. Моделирование кинетического разупорядочения
5.3. Особенности огрубления поверхности с разной шириной террас
5.4. Оптимизация условий термического выглаживания ОаЛБ(001)
Результаты и выводы к главе 5
Заключение