Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Моргунов, Игорь Викторович. Разработка и исследование технологии получения эпитаксиальных слоев кремния Р-типа проводимости для базовых областей мощных высоковольтных транзисторов методом жидкофазной эпитаксии
- ВУЗ:
- Моск. ин-т стали и сплавов
- Краткое описание:
- Моргунов, Игорь Викторович. Разработка и исследование технологии получения эпитаксиальных слоев кремния Р-типа проводимости для базовых областей мощных высоковольтных транзисторов методом жидкофазной эпитаксии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов.- Москва, 1995.- 23 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-2/2375-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб