Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Приборы и методы контроля и определения состава веществ
скачать файл: 
- Название:
- Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем
- ВУЗ:
- Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
- Краткое описание:
- Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни.- Ташкент, 1989.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 90-2/2432-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб