Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Мяконьких Андрей Валерьевич. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики
- ВУЗ:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- Краткое описание:
- Мяконьких Андрей Валерьевич. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Мяконьких Андрей Валерьевич; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 125 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/36
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб