Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления
скачать файл: 
- Название:
- Науменко, Эльфвра Вячеславовна. Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb
- ВУЗ:
- Моск. акад. тонкой хим. технологии
- Краткое описание:
- Науменко, Эльфвра Вячеславовна. Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На примере InSb : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.27.06 / Моск. акад. тонкой хим. технологии.- Москва, 1997.- 18 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-3/3066-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб