Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Нечипоренко, Александр Петрович. Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов и водород, при пониженном давлении в реакционном объеме
- Краткое описание:
- Нечипоренко, Александр Петрович. Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов и водород, при пониженном давлении в реакционном объеме : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 1991.- 34 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб