Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
скачать файл:
- Название:
- Одиноков, Вадим Васильевич. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС
- Краткое описание:
- Одиноков, Вадим Васильевич. Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.13.07.- Москва, 1995.- 35 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб