Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления Богданова Мария Андреевна

Краткое описание

Богданова,МарияАндреевна.Особенностиформированияэнергетическогоспектраионовнаповерхностиэлектродавреакторахплазмохимическоготравления: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15 /БогдановаМарияАндреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]. - Москва, 2019. - 139 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
рукописиБогдановаМарияАндреевнаОСОБЕННОСТИФОРМИРОВАНИЯЭНЕРГЕТИЧЕСКОГОСПЕКТРАИОНОВНАПОВЕРХНОСТИЭЛЕКТРОДАВРЕАКТОРАХПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГОТРАВЛЕНИЯСпециальность

стр. 6
формированиеэнергетическогоспектраионоввреакторахплазмохимическоготравления. 2. Исследование возможности создания комплекса не возмущающих плазму in situ диагностикэнергетическогоспектра, потока и составаионоввреакторахплазмохимическоготравления, построенных на базе верифицированных аналитических

стр. 7
таких разрядных параметров, как сорт газа, амплитуда и частота подаваемого наэлектродВЧ-смещения;  Исследование эффекта асимметрии разряда наэнергетическийспектрионовнаповерхностиэлектрода. 7 Объект и предмет исследования Объектом данного исследования являетсяэнергетическийспектрионовнаповерхностиэлектродавреакторахплазмохимическоготравления. Предметом исследования в Главе 2...

Оглавление диссертациикандидат наук Богданова Мария Андреевна
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность темы исследования и степень её разработанности
Цели работы
Задачи, необходимые для достижения поставленных целей
Объект и предмет исследования
Научная новизна
Теоретическая и практическая значимость
Методология диссертационного исследования
Положения, выносимые на защиту
Степень достоверности
Личный вклад
Апробация результатов
Публикации
Объём и структура работы
Краткое содержание работы
Список используемых сокращений
ГЛАВА 1 ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
1.1 Плазма в современной жизни
1.2 Плазмохимическая обработка поверхности при производстве чипов
1.3 Методы контроля ионов в реакторах плазмохимического травления
ГЛАВА 2 ПОТОК ИОНОВ НА ЭЛЕКТРОД В 1СР-ПЛАЗМЕ
2.1 Экспериментальная установка
2.2 Зонд Ленгмюра
2.3 Сеточный анализатор с задерживающим потенциалом ЯБЕЛ
2.4 Метод импульсной модуляции автосмещения
2.5 Результаты измерений: сравнительный анализ
2.6 Основные выводы
ГЛАВА 3 ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ СПЕКТР ИОНОВ В 1СР-ПЛАЗМЕ
3.1 Состав потока ионов
3.2 Аналитический подход к описанию движения ионов через слой
3.3 Энергетический спектр ионов на заземлённом электроде
3.4 Энергетический спектр ионов на ВЧ-нагруженном электрод: Бесстолкновительный случай (Я£ > 5)
3.5 Энергетический спектр ионов на ВЧ-нагруженном электрод: Влияние столкновений < 5)
3.6 Низкоэнергетичные пики в энергетических спектрах ионов
3.7 Основные выводы
ГЛАВА 4 СООТНОШЕНИЕ МЕЖДУ ПОТОКОМ ИОНОВ И ПЛОТНОСТЬЮ ПЛАЗМЫ В ВЧ ССР РАЗРЯДЕ
4.1 Экспериментальная установка и методы диагностики
4.1.1 Экспериментальная установка
4.1.2 Измерение плотности плазмы
4.1.3 Измерение температуры электронов
4.1.4 Измерение потока ионов
4.2 Численный подход на основе МЧЯ МК
4.3 Результаты и обсуждение
Основные выводы
ГЛАВА 5 СОСТАВ ИОНОВ В ЛИ/Н СМЕСЯХ В ВЧ ССР РАЗРЯДЕ
5.1 Экспериментальная установка и методы диагностики
5.1.1 Экспериментальная установка
5.1.2 Методы диагностики
5.2 Численный подход на основе МЧЯ МК
5.2.1 Ионный состав
5.2.2 Схема быстрого расчёта энергетического спектра ионов
5.3 Результаты и обсуждение
Основные выводы
ГЛАВА 6 ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ СПЕКТР ИОНОВ В CCP-ПЛАЗМЕ
6.1 Результаты и обсуждение
6.2 Основные выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БЛАГОДАРНОСТИ
ПУБЛИКАЦИИ АВТОРА ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ В РЕЦЕНЗИРУЕМЫХ ЖУРНАЛАХ, ИНДЕКСИРУЕМЫХ SCOPUS И WEB OF SCIENCE