Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Панченко Валерий Александрович. Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации
- Краткое описание:
- Панченко Валерий Александрович. Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Нальчик, 2002.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2339-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб