Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Панфилов Игорь Владимирович. Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках
- Краткое описание:
- Панфилов Игорь Владимирович. Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2002.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2782-4
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб