ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ
| Бесплатное скачивание авторефератов |
| СКИДКА НА ДОСТАВКУ РАБОТ! |
| Увеличение числа диссертаций в базе |
| Снижение цен на доставку работ 2002-2008 годов |
| Доставка любых диссертаций из России и Украины |
ПОСЛЕДНИЕ ОТЗЫВЫ
Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа
- Кол-во страниц:
- 200
- ВУЗ:
- НИИ точного машиностроения
- Год защиты:
- 1996
- Краткое описание:
- Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения.- Москва, 1996.- 25 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-3/4051-1
- Список литературы:
- -
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб
