Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Перелыгин, Игорь Захарович. Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом Вч-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений
- Краткое описание:
- Перелыгин, Игорь Захарович. Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом Вч-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 1992.- 30 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб