Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов Барсуков Юрий Владимирович

Краткое описание

Барсуков, Юрий Владимирович.
Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Барсуков Юрий Владимирович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»]. - Санкт-Петербург, 2022. - 96 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Барсуков Юрий Владимирович
Введение
Актуальность работы
Цели и задачи работы
Научная новизна
Практическая и научная значимость
Защищаемые положения
Достоверность результатов
Апробация работы
Публикации
Личный вклад автора
Структура и объем диссертации
Глава 1. Состояние проблемы, постановка задачи
1.1. Травление кремнийсодержащих материалов
1.2. Роль N0 в травление нитрида кремния
1.3. Травление газообразным фтороводородом
1.4. Синтез нанотрубок нитрида бора
1.5. Выводы к главе
Глава 2. Механизм травление нитрида кремния газовым разрядом смеси NFз/02
2.1 Установка травления DFE
2.2 Экспериментальные данные по травлению
2.3 Диагностика и моделирование разряда в NFз/02 смеси
2.4 Моделирование поверхностных реакций (квантовая химия)
2.5 Механизм травления Бв^ с участием F и N0
2.6 Аналитическая модель травления Бв^ с участием F и N0
2.7 Резюме
Глава 3. Реагенты, ускоряющие травление в присутствие атомарного фтора
7.1 Квантовохимическое моделирование
3.2 Обсуждение результатов моделирования
7.2 Резюме
Глава 4. Механизм травление нитрида кремния газовым разрядом в смеси
№з/02/№/Ш
4.1 Экспериментальная установка
4.2 Экспериментальные данные по травлению
4.3 Гипотеза о ОТ(у)
4.4 Моделирование плазмы разряда в смеси NF3/O2/N2/H2
4.5 Квантовохимическое моделирование
4.6 Аналитическая модель
4.7 Резюме
Глава 5. Реактивно ионное травление нитрида кремния в разрядах SF6/H2 и SFe/De (изотопный эффект)
5.1 Установка травления и диагностика
5.2 Данные актинометрии
5.3 Экспериментальные данные по травлению
5.4 Резюме
Глава 6. Образование прекурсоров роста нанотрубок нитрида бора при высокотемпературном синтезе: термодинамический и кинетический приближения
6.1 Описание вычислительных методов
6.2 Стабильность кластеров BmNn
6.3 Термодинамическая модель: состав равновесной смеси
6.4 Фиксация молекулярного азота в результате реакций с малыми кластерами бора
6.5 Кинетическое моделирование процесса фиксации N2
6.6 Ab initio молекулярная динамика
6.7 Сворачивание моноциклических колец в фуллборены
6.8 Резюме
Заключение
Литература
Введение