Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Новосибирск
Год защиты:
1990
Краткое описание:
Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.01.- Новосибирск, 1990.- 20 с.: ил.