Пушкарев Александр Иванович. Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Томск
Год защиты:
2002
Краткое описание:
Пушкарев Александр Иванович. Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама : диссертация ... кандидата технических наук : 05.14.12, 01.04.08.- Томск, 2002.- 150 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1611-6