Распыление платины ионами инертных газов низких энергий Хайдаров, Абдусаме Аббосович

Краткое описание

Хайдаров, Абдусаме Аббосович.
Распыление платины ионами инертных газов низких энергий : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Москва, 1999. - 122 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Хайдаров, Абдусаме Аббосович
СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава I. Распыление одноэлементных материалов (основные
закономерности, механизмы)
1.1 Введение
1.2. Характеристики, используемые при описании распыления
1.3. Распыление монокристаллов
1.3.1. Анизотропия угловых распределений монокристаллов
1.3.2. Механизмы распыления монокристаллов
1.4. Распыление поликристаллов и аморфных мишеней
1.4.1 Каскадный механизм и теория распыления Зигмунда
1.4.2. Распыление легкими ионами
1.4.3. Режим первичного выбивания атомов
1.4.4. Режим тепловых пиков
1.4.5. Угловые распределения распыленных частиц
1.4.6. Заключение к обзору и постановка задачи
Глава II. Методика изучения угловых распределений распыленных частиц
2.1. Экспериментальная установка
2.2. Методика и условия проведения экспериментов по изучению угловых распределений распыленных частиц
2.3. Подготовка мишеней
2.4. Применение обратного резерфордовского рассеяния для измерения угловых распределений распыленных частиц
2.5. Компьютерное моделирование
66
Глава III. Угловые распределения частиц при распылении поликристалла
Pt ионами Аг+
3.1. Введение
3.2. Угловые распределения атомов при распылении текстурированного поликристалла Pt
3.3. Угловые распределения атомов, распыленных из нетекстурированного поликристалла Pt
3.4. Влияние массы бомбардирующих ионов на угловое распределение распыленных частиц
Глава IV. Распыление поликристалла Pt легкими ионами
4.1. Введение
4.2. Угловые распределения частиц, распыленных из поликристалла Pt, облучаемого ионами Не+
4.3. Парциальные угловые распределения распыленных частиц
4.4. Механизмы распыления поликристалла Pt низкоэнергетичными ионами Не+ и Аг+
4.5. Влияние энергии бомбардирующих ионов на вклад различных механизмов в распыление Pt
Основные результаты и выводы
Литература