Развитие физической модели оптически управляемого переключателя на основе тонкопленочной структуры Ge2Sb2Te5 Толкач Никита Михайлович

Краткое описание

Толкач, Никита Михайлович.
Развитие физической модели оптически управляемого переключателя на основе тонкопленочной структуры Ge2Sb2Te5 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Толкач Никита Михайлович; [Место защиты: Рязан. гос. радиотехн. ун-т]. - Рязань, 2019. - 149 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Толкач Никита Михайлович
Введение
Глава 1 Оптические вычислительные устройства
1.1 Электрооптические устройства
1.1.1 Оптические компьютеры
1.1.2 Электрооптический модулятор на основе интерферометра Маха-Цендера
1.1.3 Электрооптический полимерный переключающий элемент
1.2 Оптически управляемые устройства
1.2.1 Оптический модулятор на основе интерферометра Фабри-Перо
1.2.2 Оптические устройства на плазмонном эффекте
1.2.3 Оптический элемент на кремниевой наночастице
1.2.4 Оптический элемент на металлической наночастице золота
1.3 Эффект фазового переключения в ХСП и оптические устройства на его основе
1.3.1 История открытия материалов ХСП и эффекта фазового переключения в них
1.3.2Эффект фазового переключения
1.3.3 Современные устройства на эффекте фазового переключения
1.3.4 Оптические диски
1.3.5 Энергонезависимая фазовая память Intel 3D XPoint
1.3.6 Оптически управляемые устройства на эффекте фазового переключения в GST
1.3.6.1 Управляющие углом отражения элементы
1.3.6.2 Управляющие интенсивностью прохождения оптического сигнала элементы
1.3.6.3 Элемент на эффекте плазмонного резонанса
1.3.6.4 Нанофотонный пространственный модулятор света
Выводы
Глава 2 Моделирование процессов влияния низкоэнергетических электромагнитных воздействий на свойства наноразмерных тонкопленочных структур GST
2.1 Концепция оптически управляемого переключателя
2.2 Физико-математическая модель оптически управляемого переключателя на пленках GST
2.2.1 Интерференция в тонкой поглощающей пленке
2.2.2 Интенсивности отраженных и прошедших волн при интерференции
2.2.3 Отражательная и пропускательная способности тонкой пленки
2.2.4 Коэффициенты отражения и пропускания на границах раздела сред
2.2.5 Критерии оптимизации оптически управляемого переключателя
2.3 Моделирование работы оптически управляемого переключателя
Выводы
Глава 3 Методы экспериментальных исследований оптических и морфологических свойств наноразмерных тонкопленочных структур GST
3.1 Методы локального исследования процесса обратимого изменения фазового состояния в тонкопленочной структуре GST
3.2 Метод расчета комплексного показателя преломления
3.3 Методика локального измерения комплексного показателя преломления тонкопленочной структуры с фазовыми переходами
3.4 Методика коррекции траектории температурного дрейфа
3.4.1 Описание проблемы
3.4.2Модель и программа для коррекции дрейфа
Выводы
Глава 4 Исследование тонкопленочных структур GST для оптимизации параметров оптически управляемых переключателей
4.1 Изготовление экспериментальных образцов
4.2 Измерение толщины пленок
4.3 Измерение комплексного показателя преломления материала пленок
4.3.1 Результаты эллипсометрии
4.3.2 Результаты спектрофотометрии
4.3.3 Результаты расчета комплексного показателя преломления по данным об отражательной и пропускательной способностях
4.4 Исследование процесса обратимого изменения фазового состояния материала пленки
4.5 Исследование спектров комбинационного рассеяния локальных участков пленки
4.6 Исследование температурного дрейфа
4.6.1 Температурный дрейф при лазерном нагреве пленки
4.6.2 Влияние температурного дрейфа на спектры комбинационного рассеяния
4.7 Исследование отражательной и пропускательной способностей в локальных участках пленки
Выводы
Заключение
Список литературы
Приложение А Акт об использовании результатов диссертационной работы... 142 Приложение Б Свидетельство о государственной регистрации программы
для ЭВМ
Приложение В Исходный код программы для скорректированного перемещения исследуемой области при коррекции траектории температурного дрейфа
Введение