Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния при сильных электрических полях Кириллова, Светлана Ильинична

Краткое описание

Кириллова, Светлана Ильинична.
Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния при сильных электрических полях : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Киев, 1984. - 169 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Кириллова, Светлана Ильинична
Введение. стр.
ГЛАВА I. Эффект неравновесного обеднения (обзор литературы)
1.1. Сущность явления неравновесного обеднения.
1.2. Релаксация неравновесного обеднения при умеренных электрических полях.
1.2Л. Большая плотность 113С.
1.2.2. Малая плотность ПЭС.
1.3. Термополевые процессы ускорения релаксации при больших электрических полях.
Выводы к главе 1.
ГЛАВА II. Релаксация неравновесного обеднения на реальной и термически окисленной поверхности кремния.
2.1. Введение.
2.2. Методика исследований.
2.3. Релаксация неравновесного обеднения на реальной поверхности кремния р-типа.
2.3.1. Релаксация в начальный момент неравновесного обеднения.
2.3.2. Релаксация, обусловленная туннельно-акти-вационными процессами.
2.4. Релаксация неравновесного обеднения на реальной поверхности кремния п-типа.
2.5. Релаксация неравновесного обеднения на термически окисленной поверхности кремния п-типа.
2.6. Анализ релаксации неравновесного обеднения стр. при больших электрических полях на атомарно-чистой поверхности кремния.
2.7. Выводы к главе II.
ГЛАВА III. Релаксация неравновесного обеднения на легированной металлами поверхности кремния.
3.1. Введение.
3.2. Методика легирования поверхности кремния металлами.
3.3. Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния, легированной золотом.
3.4. Релаксация неравновесного обеднения на легированной цинком поверхности кремния.
3.4.1. Поверхность, легированная по способу JPI.
3.4.2. Поверхность, легированная по способу №2. ПО
3.5. Выводы к главе III.
ГЛАВА 1У. Релаксация неравновесного обеднения на кремниевых ВДЦП-структурах.^.
4.1. Введение.
4.2. Методика исследований.
4.3. Технология изготовления исследуемых ОДЦПструктур.
4.4. Релаксация неравновесного обеднения на НЦП-структурах, изготовленных с применением хлорной технологии.
4.5. Релаксация неравновесного обеднения на МДП-структурах, полученных окислением в сухом кислороде.
4.6. Релаксация неравновесного обеднения на стр. МДП-структурах, облученных ^-радиацией
4.7. Способ подавления релаксации емкости кремниевых ВДП-структур.
4.7.1. Экспериментальные результаты.
4.7.2. Природа процессов, приводящих к подавлению релаксации неравновесной емкости.
4.8. Выводы к главе 1У.