Роль неравновесных состояний и релаксационных процессов при лазерном формировании полупроводниковых слоев Битюрин, Юрий Анатольевич

Краткое описание

Битюрин,ЮрийАнатольевич.Рольнеравновесныхсостоянийирелаксационныхпроцессовприлазерномформированииполупроводниковыхслоев: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Горький, 1985. - 171 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
U:£f^/mo '(^ АКАДЕМИЯ НАУК СССР ИНСТИТУТ ПРЖЛАДНОЙ ФИЗИКИ На правах рукописиБитюринЮрийАнатольевичУДК 539.23РОЛЬНЕРАВНОВЕСНЫХСОСТОЯНИИИРЕЛАКСАЦИОННЫХПРОЦЕССОВПРИЛАЗЕРНОМФОРМИРОВАНИИПОЛУПРОВОДНИКОВЫХСЛОЕВ01.04,04 физическая электроника, в том числе квантовая Диссертация на соискание ученой

стр. 7
исследованию характеристик плазмы на различных стадияхпроцессалазерногонапыления пленок; -ролирадиационных явлений в полупроводникахприлазер­ нойэпитаксии; - исследованию отжига тонкопленочных структур и их рекри­ сталлизациипривоздействиилазерногоизлучения; ... - исследованию механизмов ориентации

стр. 113
с флуктуацией ширины запре­ щенной зоны и волными просветления и потемнения.Процессразогреваполупроводниковпривоздействиилазер­ ногоимпульса можно описать системой из двух уравнений, котораяприпренебрежениипроцессамидиффузии тепла и свободных носите­ лей тока ( t > /at; Vn ) выглядит следующим

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Битюрин, Юрий Анатольевич
ВВЕДЕНИЕ
Глава I. ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭРОЗИОННОЙ ЛАЗЕРНОЙ МкШ,
ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ.
1.1. Лазерная плазма. Образование и разлет в вакуум.
1.2. Взаимодействие атомов и интенсивных атомар-. ных потоков с поверхностью твердого тела
1.3. Экспериментальная установка и методы иссле дования.
1.4. Характеристики эрозионной лазерной плазмы на стадии инерциального разлета в вакуум
1.5. Взаимодействие продуктов лазерной эрозии с поверхностью твердого телаОглавление диссертациикандидат физико-математических наук Битюрин, Юрий Анатольевич
ВВЕДЕНИЕ
Глава I. ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭРОЗИОННОЙ ЛАЗЕРНОЙ МкШ,
ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ.
1.1. Лазерная плазма. Образование и разлет в вакуум.
1.2. Взаимодействие атомов и интенсивных атомар-. ных потоков с поверхностью твердого тела
1.3. Экспериментальная установка и методы иссле дования.
1.4. Характеристики эрозионной лазерной плазмы на стадии инерциального разлета в вакуум
1.5. Взаимодействие продуктов лазерной эрозии с поверхностью твердого тела