Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
1991
Краткое описание:
Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.02.- Москва, 1991.- 20 с.: ил.