Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Электроника
скачать файл:
- Название:
- Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров
- Краткое описание:
- Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Физико-технол. ин-т.- Москва, 1998.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/4075-3
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб