Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Системы автоматизации проектировочных работ
скачать файл: 
- Название:
- Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники
- Краткое описание:
- Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12.- Москва, 2001.- 232 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/537-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб