Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика металлов
скачать файл: 
- Название:
- Шевченко Евгений Федорович. Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат
- Краткое описание:
- Шевченко Евгений Федорович. Плазменные источники химически активных ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : Диссертация кандидата технических наук : 01.04.13; 158 стр. - Ставрополь 2012
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб