Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Шевяков, Василий Иванович. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений
- ВУЗ:
- Моск. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Шевяков, Василий Иванович. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1998.- 53 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-6/616-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб