Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста

Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика




  • скачать файл:
  • Название:
  • Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
  • Год защиты:
  • 2021
  • Краткое описание:
  • Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ




Доставка любой диссертации из России и Украины


ПОСЛЕДНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Генерация поляризованного излучения 4-й гармоники иттербиевого волоконного лазера в кристаллах трибората лития Никитин Дмитрий Геннадьевич
Глубокое лазерное охлаждение атомов тулия в оптической дипольной ловушке Цыганок Владислав Викторович
Исследование роли накопленного тепла при многоимпульсном воздействии нано-, пико- и фемтосекундных лазерных импульсов на конденсированные среды и биологические ткани Шамова Александра Андреевна
Квантовая метрология на основе детектирования запутанных состояний туннельносвязанных светлых солитонов Царёв Дмитрий Владимирович
Квантово-оптические эффекты и устройства с использованием тепловых состояний света Авосопянц Грант Владимирович

ПОСЛЕДНИЕ СТАТЬИ И АВТОРЕФЕРАТЫ

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА