Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Сидорова Светлана Владимировна. Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме
- ВУЗ:
- Московский государственный технический университет имени Н.Э Баумана
- Краткое описание:
- Сидорова Светлана Владимировна. Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Сидорова Светлана Владимировна;[Место защиты: Московский государственный технический университет имени Н.Э Баумана], 2016.- 191 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб