Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии
- ВУЗ:
- Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
- Краткое описание:
- Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов.- Черноголовка, 1995.- 23 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-4/869-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб