Синтез и свойства тонких пленок на основе оксидов циркония, титана и свинца Шрамченко, Ирина Евгеньевна

Краткое описание

Шрамченко, Ирина Евгеньевна.
Синтез и свойства тонких пленок на основе оксидов циркония, титана и свинца : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21. - Воронеж, 2006. - 152 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат химических наук Шрамченко, Ирина Евгеньевна
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК, СОДЕРЖАЩИХ ОКСИДЫ
ЦИРКОНИЯ, ТИТАНА И СВИНЦА
1.1. Способы получения тонких пленок сложного состава
1.1.1. Метод термического напыления
1.1.2.Метод ионного распыления
1.1.3. Метод катодного напыления
1.1.4. Ионно-плазменное напыление
1.2. Основные физико-химические свойства оксидсодержащих тонких пленок
1.2.1. Тонкопленочные оксиды циркония
1.2.2. Тонкопленочные оксиды титана
1.2.3. Взаимодействие в системе титан - цирконий
1.2.4. Тонкопленочные оксиды свинца
1.2.5. Тонкопленочные цирконат и титанат свинца
1.3. Нелинейные диэлектрические свойства тонких пленок на основе цирконата - титаната свинца
Глава 2. МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Магнетронное напыление пленок металлов из простой и составной мишени
2.2. Методика приготовления составной мишени
2.3. Оксидирование тонких пленок в печи резистивного нагрева
2.4. Эллипсометрический метод контроля толщины оксидных пленок
2.5. Рент1 енофазовый анализ, количественный анализ
2.6. Исследование диэлектрических свойств тонких пленок цирконата -титаната свинца
Глава 3. СИНТЕЗ И СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ЦИРКОНИЯ И РАЗБАВЛЕННЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ ЦИРКОНИЙ
ТИТАН НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ
3.1. Кинетика и механизм оксидирования тонких пленок циркония
3.1.1. Оксидирование тонких пленок циркония в реакторе резистивной печи в потоке кислорода
3.1.2. Структура и свойства тонких пленок диоксида циркония
3.2. Оксидирование тонких пленок разбавленных твердых растворов ггхТи.х в печи резистивного нагрева при атмосферном давлении в 94 потоке кислорода
3.3. Термодинамический расчет реакций в системе цирконий - титан -кислород
3.4. Фазовый состав тонкопленочных структур 81/2гхТ11.х, полученный в результате оксидирования
3.5. Оптические свойства
3.6. Экстремумы свойств твердых растворов цирконий - титан
Глава 4. СИНТЕЗ И СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ЦИРКОНИЯ, ТИТАНА И СВИНЦА
4.1. Фазовые превращения тонкопленочных структур в системе цирконий - титан - свинец - кислород на монокристаллическом кремнии
4.2. Особенности формирования тонкопленочных структур в системе титан - свинец - цирконий - кислород на титановых подложках
4.3. Особенности диэлектрических свойств тонких пленок цирконата - 124 титаната свинца