Синтез и свойства тонкопленочных гетероструктур на основе Fe, Ni, In, Sn Мячина, Татьяна Анатольевна

Краткое описание

Мячина, Татьяна Анатольевна.
Синтез и свойства тонкопленочных гетероструктур на основе Fe, Ni, In, Sn : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21. - Воронеж, 2006. - 137 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат химических наук Мячина, Татьяна Анатольевна
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. Свойства и способы получения тонкопленочных гетероструктур на основе Fe, Ni, In, Sn, и их оксидов
1.1. Основные физико-химические свойства железа, никеля, индия и олова
1.2. Окисление металлов и сплавов. Законы роста оксидных пленок
1.3. Особенности оксидирования железа, никеля, индия и олова
1.4. Взаимодействия в системах Fe-Ni-О и In-Sn-О
1.5. Тонкие пленки. Синтез, свойства и структура тонких пленок
Глава 2. Основные экспериментальные методики
2.1. Магнетронный способ осаждения пленок
2.2. Методика приготовления составной мишени
2.3. Оксидирование тонких пленок в печи резистивного нагрева
2.4. Оксидирование при пониженном давлении кислорода
2.5. Характеристика эллипсометрического метода
2.6. Установка для окисления с автоматической эллипсометрией
2.7. Методики исследования состава и структуры пленок
2.8. Расчет спектров оптического поглощения и энергии оптических переходов
Глава 3. Оксидирование тонких пленок железа, никеля, индия и олова
3.1. Термическое оксидирование тонких пленок железа в потоке кислорода при атмосферном давлении
3.2. Особенности оксидирования тонких пленок никеля
3.3. Оксидирование тонкопленочного индия в установке автоматической эллипсометрии
3.4. Особенности оксидирования тонких пленок олова
Глава 4. Оксидирование тонкопленочных твердых растворов железа с никелем
4.1. Кинетика оксидирование тонких пленок Fe-Ni
4.2. Фазовый состав окисленных пленок Fe-Ni
4.3. Аномальные свойства железо-никелевых пленок
4.4. Физико-химическая модель возникновения особых свойств тонких пленок твердых растворов железо-никель
Глава 5. Оксидирование тонкопленочных гетероструктур, содержащих индий и олово
5.1. Исследование термического оксидирования тонкопленочных структур In/Sn и Sn/In при атмосферном давлении в потоке кислорода
5.2. Изучение влияния вакуумного отжига на формирование тонких пленок, содержащих индий, олово и их оксиды
5.3. Эволюция фазового состава окисленных пленок In-Sn
5.4. Особенности оптических свойств сформированных ITO-структур