Структура и свойства перовскитных и перовскитоподобных тонкопленочных материалов, полученных химическим осаждением из пара Горбенко, Олег Юрьевич

Краткое описание

Горбенко, Олег Юрьевич.
Структура и свойства перовскитных и перовскитоподобных тонкопленочных материалов, полученных химическим осаждением из пара : диссертация ... доктора химических наук : 02.00.21. - Москва, 2003. - 422 с. : ил.
Оглавление диссертациидоктор химических наук Горбенко, Олег Юрьевич
ВВЕДЕНИЕ.
I. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
LI. Представления о механизме и кинетике процессов MOCVD. 6 1.2. Сложные оксиды со структурой перовскита. Манганиты с колоссальным магнетосопротивлеиием.
13. Структура и сверхпроводящие свойства фаз ИВагСизОт-е.
1.4. Монокристаллические оксидные подложки для роста пленок сложных оксидов.
1.5. Структура и свойства тонких оксидных пленок (эпитаксия, напряжения, взаимодействие с подложкой).
1.6. Постановка задач работы.
П. ЭКСПЕРИМЕНТ. 93 П. 1. Получение тонких пленок сложных оксидов методом химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений.
П.2. Методы исследования пленок.
П.З. Методики химического анализа керамических материалов.
П.4. Химическая микролитография.
П1. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ. 136 DOLI. Структура и свойства тонких эпитаксиальных пленок манганитов РЗЭ с различными типами легирования в А-подрешетку, обладающих колоссальным магнетосопротивлеиием.
III. 1.1. Вакансионное легирование.
III. 1.2. Пленки (Lai-xPrx)o тСао.зМпОз
Ш. 1.3. Манганиты легированные свинцом (пленки Ьа1.хРЬхМпОз).
HI. 1.4. Манганиты легированные натрием. 198 Ш.2. Структура и свойства тонких эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников НВагСизОт-у (R = Y, Но, Lu, Gd, Nd).
Ш.2.1. Фазовые отношения в эпитаксиальных пленках ЯВагСизСЬ-б.
III.2 2. Оптимальные условия роста тонких эпитаксиальных пленок ЯВагСизОт-в. 239 Ш.2.3. Прообразы электронных тонкопленочных устройств на основе эпитаксиальных тонких пленок ЯВагСизСЪ-б- 283 1113. Исследование эпитаксиальных гетероструктур сложных оксидов со структурой перовскита.
Ш.3.1. Индивидуальные перовскитныеслои.
Ш.3.2. Перовскитные гетероструктуры. 297 Ш.3.3. Многослойные гетероструктуры, полученные в режиме автокоррекции состава.
Ш.3.4. Прообразы устройств. 322 Ш. 4. Обобщение данных по эпитаксиальной стабилизации в пленках сложных оксидов.
Ш.4.1. Термодинамическая модель стабилизации. 335 Ш.4.2. Использование эпитаксиальной стабилизации для получения полиморфных модификаций КВОз.