Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
1993
Краткое описание:
Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 1993.- 22 с.: ил.