Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика плазмы
 
скачать файл: 
- Название: 
 - Суханов Яков Николаевич. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники 
 
- Краткое описание: 
 - Суханов Яков Николаевич. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08, 01.04.04 : Москва, 2005 114 c. РГБ ОД, 61:05-1/586
 
- Стоимость доставки: 
 - 230.00 руб