Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Свадковский, Игорь Витальевич. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ
- Краткое описание:
- Свадковский, Игорь Витальевич. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Минск, 1993.- 21 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб