Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Электротехнология
скачать файл: 
- Название:
- Терентьев Сергей Александрович. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
- Краткое описание:
- Терентьев Сергей Александрович. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, 05.27.01.- Саратов, 2002.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2086-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб