Термическое и лазерно-стимулированное оксидирование тонких пленок системы медь-титан Прибытков, Дмитрий Михайлович

Краткое описание

Прибытков, Дмитрий Михайлович.Термическое и лазерно-стимулированное оксидирование тонких пленок системы медь-титан : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.21. - Воронеж, 2005. - 84 с. : ил.

Оглавление диссертациикандидат химических наук Прибытков, Дмитрий Михайлович
Введение.
1. Кинетика и механизм оксидирования кремния, меди и титана.
1.1. Элементарные стадии взаимодействия кремния и металлов с кислородом.
1.2. Описание оксидирования с позиций представлений о самоорганизации переходных слоев вблизи межфазных границ.
1.3. Оксидирование кремния.
1.4. Оксидирование меди.
1.5. Оксидирование титана.
1.6. Влияние оптического излучения на оксидирование титана.
2. Основные экспериментальные методики.
2.1. Получение пленок медь-титан методом магнетронного напыления.
2.2. Методика приготовления составной мишени.
2.3. Оксидирование тонких пленок в печи резистивного нагрева.
2.4. Оксидирование при пониженном давлении кислорода и фотонном нагреве подложек.
2.5. Лазерно-термическое окисление тонких пленок титана.
2.6. Эллипсометрический метод,.
2.7. Рентгенофазовый анализ, количественный анализ.
3. Основные экспериментальные результаты.
3.1. Оксидирование системы медь-титан (45 ат.% Си).
3.2. Оксидирование тонких пленок Си-Тл в потоке кислорода при атмосферном давлении.
3.3. Окисление тонких пленок медь-титан в режиме фотонного нагрева при низком давлении кислорода.
3.4. Окисление тонких пленок медь-титан различного состава в печи резистивного нагрева в кислороде при атмосферном давлении.