Ткаченко Максим Олексійович. Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією




  • скачать файл:
  • Название:
  • Ткаченко Максим Олексійович. Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією
  • Альтернативное название:
  • Ткаченко Максим Алексеевич. Усовершенствование технологии шлифования кремниевых структур с диэлектрической изоляцией
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Кременчуцький ун-т економіки, інформаційних технологій і управління. - Кременчук
  • Год защиты:
  • 2005
  • Краткое описание:
  • Ткаченко Максим Олексійович. Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією : дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Кременчуцький ун-т економіки, інформаційних технологій і управління. - Кременчук, 2005.
    Ткаченко М. О. Удосконалення технології шліфування кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією Рукопис.
    Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.27.06 Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки. Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління, Кременчук, 2005.
    Дисертація присвячена удосконаленню технології процесу шліфування КСДІ на основі розробленої математичної моделі процесу шліфування і створенню системи автоматичного керування процесом шліфування КСДІ на базі верстата САШ-420М. Показано, що внутрішні напруги, що виникають у технологічному процесі виробництва КСДІ, приводять до складних форм деформації КС і, як наслідок, до розтріскування КС у процесі шліфування.
    Показано, що наявність напруженого шару приводить до виникнення напруг від осьової сили Р і згинаючого моменту М, що у сумі підкоряються лінійному закону. Отримано співвідношення для оцінки величини максимального вигину. Синтезовано математичну модель напруженого і деформованого стану КС у процесі шліфування, за допомогою якої показана можливість значного зменшення вигину КС при шліфуванні ПК і МК шарів.
    Здійснено математичний опис сил різання в процесі шліфування кремнієвих пластин і визначені кінематичні і геометричні параметри процесу шліфування. Визначено, що на величину внутрішніх напружень істотно впливає глибина шліфування і технологічні режими шліфування. Отримано залежності, що дозволяють визначити оптимальну форму бічної поверхні КС, що зменшує обламування її кромки, і визначена форма для умов шліфування на САШ-420М.
    Розроблено алгоритм визначення числа проходів шліфування. Науково обґрунтовані основні елементи і концепція застосування системи автоматичного керування верстатом САШ-420М, що забезпечує оптимальний режим шліфування кремнієвих структур.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 125.00 грн


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины


ПОСЛЕДНИЕ СТАТЬИ И АВТОРЕФЕРАТЫ

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА