Туренко Евгений Алексеевич. Ионно-плазменный синтез силицидов меди на монокристаллическом кремнии
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Воронеж
Год защиты:
2002
Краткое описание:
Туренко Евгений Алексеевич. Ионно-плазменный синтез силицидов меди на монокристаллическом кремнии : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01.- Воронеж, 2002.- 118 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-2/153-0