Тутов Евгений Анатольевич. Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии
Кол-во страниц:
294
ВУЗ:
Воронеж. гос. ун-т
Год защиты:
2009
Краткое описание:
Тутов Евгений Анатольевич. Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии : диссертация ... доктора химических наук : 02.00.21 / Тутов Евгений Анатольевич; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т].- Воронеж, 2009.- 294 с.: ил. РГБ ОД, 71 10-2/10