Высокочастотный емкостной разряд и его взаимодействие с поверхностью диагностических зеркал в условиях ИТЭР Дмитриев Артем Михайлович

Краткое описание

Дмитриев, Артем Михайлович.
Высокочастотный емкостной разряд и его взаимодействие с поверхностью диагностических зеркал в условиях ИТЭР : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Дмитриев Артем Михайлович; [Место защиты: ФГБУН Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук]. - Санкт-Петербург, 2020. - 122 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Дмитриев Артем Михайлович
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ПО ИССЛЕДОВАНИЮ И ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ВЧЕ РАЗРЯДА ДЛЯ ЧИСТКИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНСТЕЙ В ТОКАМАКЕ ИТЭР
1.1 Проблема первого зеркала в термоядерной установке
1.2 Литературный обзор экспериментов по плазменной очистке оптических поверхностей. Обоснование выбора высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕ), как основного инструмента очистки и анализ условий его применимости
Глава 2. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ И РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ИОННОГО ПОТОКА В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ПАРАМЕТРОВ ВЧЕ РАЗРЯДА
2.1 Описание экспериментальной установки для исследования параметров ВЧЕ разряда
2.2 Энергоанализатор для диагностики ионного потока на поверхности электрода
2.3 Исследование зависимости потенциала автосмещения от поглощенной в разряде мощности
2.4 Экспериментальное исследование характеристик ионного потока в зависимости от сорта рабочего газа и подводимой частоты
2.5 Измерение параметров плазмы в схеме с заземленным ВЧ электродом
2.6. Влияние магнитного поля на параметры ВЧЕ разряда
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ И ОДНОРОДНОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ОСАЖДЕНИЙ, МОДЕЛИРУЮЩИХ НАПЫЛЕНИЕ В ИТЭР
3.1. Физическое распыление. Коэффициент распыления
3.2 Методика оценки скорости удаления осаждений на основе экспериментальных данных о функции распределения ионов и литературных данных о скорости распыления. Селективность распыления
3.3 Экспериментальное исследование однородности распыления металлических осаждений с использованием плазмы ВЧ разряда
3.4 Эксперименты по удалению пленочных осаждений Al/Al2O3, моделирующих пленочные осаждения Be в вакуумном объеме ИТЭР
3.5 Эксперименты по удалению бериллийсодержащих пленок в плазме ВЧ разряда
Глава 4. РЕЗУЛЬТАТЫ МАКЕТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ ЧИСТКИ, СОВМЕЩЕННОЙ С СИСТЕМОЙ ОХЛАЖДЕНИЯ УЗЛА ПЕРВОГО ДИАГНОСТИЧЕСКОГО ЗЕРКАЛА
4.1 Конструкция макета узла первого зеркала с системой охлаждения, совмещенной с системой подведения ВЧ мощности
4.2 Измерение параметров ВЧ разряда в макете узла первого зеркала с системой охлаждения, совмещенной с системой подведения ВЧ мощности
4.3 Демонстрационные эксперименты по ВЧ чистке макета узла охлаждаемого зеркала
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЯ
ВВЕДЕНИЕ