Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика полупроводников
скачать файл: 
- Название:
- Заварин Евгений Евгеньевич. Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и AlGaN из металлорганических соединений и оптимизация роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений
- ВУЗ:
- Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН
- Краткое описание:
- Заварин Евгений Евгеньевич. Исследование особенностей процесса газофазной эпитаксии слоев GaN и AlGaN из металлорганических соединений и оптимизация роста на подложках сапфира и SiC для приборных применений : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Заварин Евгений Евгеньевич; [Место защиты: Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН].- Санкт-Петербург, 2008.- 184 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/728
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб