Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела Кобелев Антон Андреевич

Короткий опис

Кобелев,АнтонАндреевич.АнализпотоковионовизВЧгазовогоразряда,используемогодляпроцессовмодификацииповерхноститвердоготела: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 /КобелевАнтонАндреевич; [Место защиты: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]. - Санкт-Петербург, 2019. - 140 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
__________________________________________________________ На правах рукописиКобелевАнтонАндреевичАнализпотоковионовиз ВЧгазовогоразряда,используемогодляпроцессовмодификацииповерхноститвердоготела01.04.04 физическая электроника ДИССЕРТАЦИЯ на соискание ученой степени кандидата физико-математических

стр. 6
гладкая морфологияповерхности. Более того, плазменное травление должно быть однородным по всей площади обрабатываемого образца.Процесстравления в ВЧразрядев значительной мере определяется параметрамипотокаионови химически активных радикалов наповерхностьтвердоготела. В качестве основных параметров выделяют компонентный состав, величинупотока, функцию распределения частиц по энергии и углу падения наповерхность...

стр. 13
качественно и количественно предложенные модели соотносятся с реальностью, определить область их применения. В настоящее время существует ряд подходовдлячисленного моделирования ВЧгазовогоразряда. 14 1.1. Численное моделирование ВЧгазовогоразряда1.1.1. Гидродинамическое приближение Гидродинамическое приближение является наиболее простым в реализации и поэтому распространенным методомдлячисленного описаниягазовыхразрядов[38]....

Оглавление диссертациикандидат наук Кобелев Антон Андреевич
Введение
Цели и задачи
Научная новизна и практическая ценность
Основные положения, выносимые на защиту
Апробация результатов
Глава I. Обзор литературы
1.1. Численное моделирование ВЧ газового разряда
1.1.1. Гидродинамическое приближение
1.1.2. Метод частиц
1.1.3. Гибридные численные модели
1.2. Физическое распыление ионами в ВЧЕ разряде
1.2.1. Численные модели столкновительного ВЧ слоя пространственного заряда
1.2.2. Электростатический энергоанализатор задерживающего потенциала для измерения ФРИЭ
1.3. Плазменное травление в ВЧ разряде в сложной смеси газов
Выводы и постановка задачи:
Глава II. Численный расчет параметров потока ионов из ВЧЕ разряда для очистки оптических элементов в системах диагностики высокотемпературной плазмы
2.1. Тестирование гибридного подхода для моделирования ВЧ разряда в неоне без магнитного поля
2.1.1. Двумерный расчет параметров ВЧЕ разряда
2.1.2 Численный анализ ФРИЭ для ионов №+. Сравнение рассчитанного профиля распыления с измеренным экспериментально
2.2. Коэффициенты распыления Ве и W загрязнений в зависимости от сорта газа и частоты ВЧЕ разряда без магнитного поля
2.3. Режим очистки в сильном магнитном поле. Приэлектродный слой ВЧЕ разряда в сильном магнитном поле
2.2.1. Влияние сильного магнитного поля на форму ФРЭ ионов Не+
2.2.2. Результаты численного моделирования при углах наклона ф < 60°
2.2.3. Результаты численного моделирования при углах наклона ф > 60°
Выводы к главе
Глава III. Численное моделирование ВЧИ газового разряда в BCI3 для технологических установок реактивного ионного травления перспективных полупроводников и диэлектриков
3.1. Моделирование ВЧИ разряда в BCl3
3.1.1. Описание численной модели
3.1.2. Результаты моделирования при Urf =
3.1.3. Результаты моделирования при Urf >
3.2. Режимы воздействия BCl3 плазмы на поверхность GaN
3.2.1 Модель реактивного ионного травления GaN
Выводы к главе
Глава IV. Численный анализ аппаратной функции многосеточного энергоанализатора задерживающего потенциала для измерения параметров потока ионов из ВЧЕ разряда
4.1. Численный расчет траекторий движения заряженных частиц в многосеточном энергоанализаторе с шестиугольными сетками
4.1.1. Описание процедуры моделирования
4.1.2. Результаты расчета аппаратной функции трехсеточного анализатора и сравнение с экспериментом
4.2. Уширение энергетического спектра как функция расстояния между сетками, размера ячеек и значения потенциала сеток
4.2.1. Результаты расчетов аппаратной функции четырехсеточного энергоанализатора с квадратными ячейками сеток
4.2.2. Ширина на полувысоте функции распределения электронов по энергии как функция потенциала второй сетки U2. Сравнение результатов расчета с экспериментальными измерениями
4.3. Влияние взаимной ориентации сеток энергоанализатора
Выводы к главе
Заключение
Приложение А. Одномерное численное моделирование ВЧ слоя пространственного заряда методом PIC MCC в магнитном поле
A.1. Описание процедуры моделирования методом PIC MCC
А.2. Тестовые расчеты методом PIC MCC: движение ионов инертных газов в ВЧ слое пространственного заряда без столкновений
А.3. Тестовые расчеты методом PIC MCC: движение ионов Аг+ в ВЧ слое пространственного заряда с учетом столкновений
Благодарность
Список литературы