Ближний порядок и межатомное взаимодействие в аморфных неметаллических пленках Попова, Ирина Александровна

Короткий опис

Попова, Ирина Александровна.
Ближний порядок и межатомное взаимодействие в аморфных неметаллических пленках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 1984. - 153 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Попова, Ирина Александровна
ВВЕДЕНИЕ
1. БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ
МЕТОДЫ ЕГО ИССЛЕДОВАНИЯ
1.1. Общие представления о ближнем порядке и межатомном взаимодействии в твердом теле
1.2. Две тенденции в понятии структуры аморфных веществ . II
1.3. Электронографический метод исследования структуры аморфных пленок. Функция радиального распределения атомов и ее интерпретация
1.4. Метод обработки экспериментальных кривых интенсивности рассеяния электронов без предварительного учета фона
1.4.1. Определение интерференционной функции в относительных единицах
1.4.2. Методы нормирования интерференционной функции
1.4.3. Эффект обрыва, ложные максимумы, их влияние на кривые радиального распределения атомов и способы учета
1.4.4. Определение межатомных расстояний, координационных чисел, средних квадратичных смещений атомов и характеристической температуры Дебая
2. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКПЕ ИССЛЕДОВАНИЕ БЛИЖНЕГО ПОРЯДКА В АМОРФНЫХ ПЛЕНКАХ ОКИСЛОВ АЛКМПМЯ, ТАНТАЛА, НИОБИЯ
2.1. Способы приготовления и область использования пленок ai2o^ ,Та2о5и иъ2о5 . Общие сведения о физико-химических свойствах
2.2. Кристаллические модификации ai2o3, Та2о5 и
2.3. Общие замечания о структуре аморфных пленок
А1203, Та205 И т>
2.4. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
2.5. Расчеты кривых радиального распределения атомов, координационных чисел, средних квадратичных смещений атомов
2.6. Вычисление характеристической температуры Дебая, углов и энергий связей
2.7. Построение функции некогерентного фона
2.8. Исследования кинетики старения аморфных пленок
2.9. Выводы
3. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК МОНОАРСЕНИДА И МОНОФОСФИДА КРЕМНИЯ
3.1. Общие сведения о физических свойствах. Способы изготовления и области использования
3.2. Кристаллические модификации пленок SiAg usip
3.3. Изучение ближнего порядка в аморфных слоях SiAs и S1P по электронографическим данным
3.3.1. Общий подход к исследованию структуры нморфных полупроводников
3.3.2. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
3.3.3. Расчет параметров ближнего порядка и термодинамических характеристик
3.4. Рентгеноэлектронные исследования структуры аморфных пленок SiAs и siP
3.5. К классификации аморфных пленок соединений группы А^В^
3.6. Выводы
4. МОДЕЛИРОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО
4.1. Общий подход к моделированию аморфных структур
4.2. Метод Монте-Карло и его применение к моделированию структуры аморфных веществ
4.3. Учет связей мевду атомами одного сорта
4.4. Выбор исходных данных
4.5. Введение полицентральной модели и коррекция краевого эффекта
4.6. Статистика химических связей и критерий достоверности сконструированных моделей
4.7. Выводы